国内首条二维半导体工程化示范工艺线全线贯通

IT之家 7 月 10 日讯 —— 原集微科技宣布，国内工程贯通7 月 9 日，首条由原集微建设的维半世界首条 8 英寸二维半导体中试线正式启用。这标志着国内乃至全球首条二维半导体工程化示范工艺线实现全线贯通。导体

据悉，化示该工艺线于今年 1 月完成“点亮”，范工在短短半年多时间内，艺线团队高效完成了全部设备的全线二次调试与工艺优化。与传统的国内工程贯通实验室小型试制平台不同，当前整条产线已具备完整的首条流片与工程化试制能力，成功搭建起从材料制备到芯片集成的维半全链条工程化体系。

原集微科技董事长包文中指出，导体凭借二维材料原子级厚度的化示天然优势，该技术无需依赖复杂的范工 FinFET 或环栅结构，即可实现晶体管的艺线持续微缩，为后摩尔时代提供了新的技术路径。

根据规划，今年下半年，团队将依托刚通线的 8 英寸中试平台，打通等效硅基 90nm 的工艺路径，推动二维半导体从实验室阶段的“手搓”器件向工业化标准设计转型。长远目标是在 2029 年，实现不依赖 EUV 光刻机的等效 5nm 全国产化方案。

与此同时，原集微正式发布了基于 8 英寸中试线平台的 500 纳米 PDK 0.1 版本，并同步启动代工流片服务。

该 PDK 主要面向高校及研究所科研客户，是二维半导体领域首个提供二维 PDK 并兼容主流 EDA 工具链的工艺 IP。其包含 Pcell、DRC、LVS、PEX 等核心工具包，为客户提供了从设计到制造的全流程工具支撑。

数据显示，该套工艺库良率超过 99.99%，各项关键指标均突破二维半导体国际纪录，基本达到硅基同等制程水准。未来，该工艺将支持 10 万管级二维电路设计及晶圆级制造，加速二维半导体技术的产业化进程。

(责任编辑：探索)