聚光科技：7350系列质谱仪提升灵敏度和抗干扰能力

针对投资者关于谱育科技7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）交付进度及国际竞争力的聚光提问，聚光科技（300203.SZ）于7月13日作出明确回应。科技

公司指出，系列谱育科技于今年3月正式发布的质谱7350系列新品，在灵敏度、仪提抗干扰能力及自动化联用技术等方面实现了显著的升灵技术跃升。该仪器在半导体领域的敏度典型应用表现尤为突出：

• 检测精度：针对湿化学品、晶圆杂质金属、和抗硅烷及电子特气等半导体关键样品，干扰其检出能力稳定达到 sub-ppt（亚ppt）水平。聚光
• 应用场景：全面覆盖半导体全场景的科技超痕量检测需求。
• 核心价值：显著提升的系列灵敏度水平，有力支撑了半导体量测端的质谱数据质量管理，能够为主流制程及先进制程提供更严苛的仪提工艺规格标准与材料认证依据。升灵

(责任编辑：探索)